Diseño de un interferómetro de Mach-Zehnder en una oblea de silicio sobre aislante para aplicaciones en bio-sensores

Abstract

Realiza la propuesta de un dispositivo óptico integrado capaz de ser usado como biosensor, pues muchos de los dispositivos de detección de sustancias se basan en equipamiento biológico o químico. Este dispositivo está conformado por guías de onda nanométricas de silicio y es capaz de generar interferencia de la luz ante cambios mínimos en el índice de refracción (10−3 y 10−2) de la sustancia a medir que lo rodea. El dispositivo propuesto es un interferómetro de Mach-Zehnder y se estudian tres diseños distintos usando silicio sobre aislante, que es una tecnología de fabricación de dispositivos ópticos de silicio. Para cada diseño se estudia el comportamiento del campo electromagnético a la salida del interferómetro y se obtiene las sensibilidades en un rango de longitud de onda de 1.3 a 1.6 μm.